5822i離子風(fēng)機(jī)的精巧設(shè)計(jì)是配合高端自動(dòng)化制程設(shè)備內(nèi)緊密的空間條件，和嚴(yán)格的靜電防控要求，尤其適用于硬盤(pán)制造和半導(dǎo)體后段封測(cè)工業(yè)。它能維持<±3 V 的離子平衡，又可接連外置回饋系統(tǒng)以達(dá)至<±1 V 的 效能。內(nèi)置的離子平衡自動(dòng)修正系統(tǒng)，能確保目標(biāo)對(duì)象在控制中，減少維修次數(shù)和降低操作成本。配置的氣流定向器，無(wú)須更多的空間，也能把平衡的離子直接吹到目標(biāo)。